超聲波清洗槽由內槽和外殼組成，內槽的外表面(一般在槽底外表)粘接超聲波換能器，槽內盛清洗液。槽一般用耐腐蝕的不銹鋼板制成，過于厚會影響超聲波的輻射，槽的內壁，尤其是粘有換能器的輻射板要平整拋光，不能有傷痕，否則易產生空化腐蝕，縮短使用壽命。為避免被清洗工件直接與槽壁板接觸而劃傷，一般用鏤空吊籃(清洗籃)或支架將清洗件懸吊在清洗液中。網籃的骨架應盡可能地小而輕，一般用不銹鋼絲編成或用其它反射聲良好的材料做成。結構上要使超聲波受阻小而清洗液易于流動。內槽的尺寸要根據清洗件的大小和形狀而定。清洗件的總表面積大應大于內槽的體積。粘有換能器的輻射板(如槽底板)所承受的電功率強度一般低于1.5W?CM2)(用電壓換能器時，大多數應在0.5-1w/cm2之間)。過高的強度會加速輻射板表面的空化腐蝕，同時由于過劇烈的空化所產生的氣泡會影響能量傳遞，使遠離輻射面得液體空間聲強變弱而達不到均勻清洗的目的。在普通的清洗槽中，由于液面的反射，在清洗槽中會產生駐波，使得在液體空間有些區域聲壓最小(波節處)，有些地方聲壓最大(波腹處)而造成清洗干凈程度不均勻。為減少駐波的形成，有時清洗槽的形狀要特別設計，或采取其他措施，例如掃頻工作方式。清洗件在槽中的排列要有一定的間隔，而最窄小的面應朝向換能器的輻射面，以免妨礙聲輻射到整個清洗槽空間。